这家企业收购了Cymer公司,而Cyme公司r则是目前全球范围内,仅有一家可以提供EUV光源系统的企业。
去年的时候,在庞大的压力下,智云旗下一家见不得光的美资公司,被迫把所持有的Cymer公司的股份,出售给英特尔以及高通,格罗方德等企业,彻底从这个项目出局。
如今英特尔等厂商,觉得自己手握全球唯一的EUV光源,不单单卡死了别人,还能自己单独玩EUV光刻机,那岂不是美妙的很。
于是乎他们就打算自己搞EUV光刻机了。
这几家美国芯片厂商对于智云针对ASML的阻挠,其实也不着急,ASML那边卡就卡呗,反正也不影响他们自己推动THOTS里的EUV项目进度。
还别说,人家搞的挺不错的,项目进度很不错,主要是有了智云这个搅屎棍后,让他们更有动力搞下去了。
台积电和四星方面倒是想要继续推进ASML方面的EUV项目,但是殖民地企业在这种关乎半导体行业的未来话语权以及引导权的顶级产业竞争面前,可没什么自主话语权,也没什么改变环境的硬实力。
粗俗来说:智云和美财团打架,关他们屁事……
他们连上桌的资格都没有。
总结起来就是当下的EUV光刻机,是一团乱麻,世界的几大芯片厂商为了各自的利益,你卡我,我卡你,热闹的很。
如此情况下,天知道什么时候EUV光刻机才能真正的商业化。
这意味着,DUV浸润式光刻机,在未来的很多年里依旧会是半导体行业的核心设备,智云微电子可以利用一大堆进口的DUV浸润式光刻机继续展开对更先进制程工艺的探索。
尤其是目前正在大力推动的22纳米3D晶体管技术。
不过光靠进口DUV浸润式光刻机也不是长久之计,最重要的还是要自己弄出来DUV浸润式光刻机。
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十月初,徐申学悄然抵达了海湾科技,然后看到了海湾科技的第一台试验用DUV浸润式光刻机的样机。
“我们的这台样机,目前还不具备实际生产的能力,我们的一些细节调整还没有完成,主要还是用来进行我们内部的各种技术测试用的!”
海湾科技的总经理王道林如此对徐申学介绍:“在不少方面,我们的这台样机还有所欠缺,如今我们这一台样机主要测试的还是我们的光源系统,在经过水介质的折射后的效果如何!”
“经过我们之前几次的试验,整体的光源设计结构基本上是达到了要求的,可以做出来了134纳米波长的光源!”
“不过也有一些问题,我们这一套光源系统里的设计,大量采用了ASML光刻机光源系统的专利技术,具体商用恐怕会很麻烦!”
徐申学道:“专利这个问题我们后头再说,还是那句话,现在是要解决有无问题,专利问题后头再来慢慢解决!”
整个半导体设备以及耗材领域里,仙女山控股虽然做出来了不少成绩,但是侵犯专利的地方多了去……典型的就是光刻胶。
现在的仙女山控股下的企业,其实已经能够做出来满足先进制程工作使用的光刻胶了,但是并没有进行大规模量产使用。
就是因为这玩意几乎是原版抄袭日本方面的光刻胶,专利侵犯的太多了。
而当下也不是什么太极端的大环境,光刻胶进口并没有受到限制,因此智云集团自然也不可能光明正大的侵犯专利进行大规模生产商用的。
目前来说,这个光刻胶存在的意义就是,作为一个备份……当别人制裁智云,不卖给智云光刻胶的时候,能拿出来光刻胶维持生产。
如果不制裁的话,那就继续放着,然后慢慢琢磨着改进绕开专利。
DUV浸润式光刻机也一样的,专利太多了,作为后来者做这东西,侵犯其他厂商的专利是不可避免的。
但是不能因为侵犯专利就不做了。
把这东西做出来,真到了制裁的时候就能直接顶上去使用。
王道林道:“光源系统方面,我们已经算是整合的差不多了,基本达到了技术要求,剩下的还要对其他方面的系统进行整合,核心技术都没什么问题了,很多都是从DUV干式光刻机里转化而来的,主要是一些系统整合上的细节问题,这需要一定的时间来打磨!”
“我们估计着,大概明年上半年,我们就能够拿出来第一台真正的样机进行各种测试。”
徐申学道:“明年的话,也差不多了,现在我们的DUV浸润式光刻机进口还没有受到限制,你这边还有一些时间,继续好好打磨,争取明年弄一台堪用的样机出来!”
“至于大规模商用,因为这个专利问题还需要看整体的环境变化,如果没有太大环境上的变化,可能你们这边就要继续努力解决一些专利问题了!”
“最后,EUV光刻机那边也不能放松了,现在DUV浸润式光刻机都还好,而EUV光刻机的话,按照我的预计是不太可能从外头获得了!”
“这未来我们集团能不能用上EUV光刻机,能不能进军未来的先进制程领域,就要靠你们了!”
“任务还是很重啊,你们要加把劲了!”
王道林这个时候,面露难色:“EUV的话,难度更大,虽然我们也获得了大量的EUV的光源系统的资料,但是光有资料也不行,我们的部分基础技术还有不小的差距,给我们设计图纸我们现在一时半会的也搞不出来这个EUV光源。”
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